第88章 绝对的世界领先（1 / 2）

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绿城市。

2007年元旦刚过。

高新区真理电子工厂，迎来了京城科工委的专家调研团。

由于赵主任亲自挂帅，使得平原省、绿城市两级部门不敢怠慢，主要领导都到场亲自陪同。

这样的大阵仗，林畅也是第一次面对。

他准备了简短的欢迎仪式，然后陪同着领导和专家们一起进入厂区。

主要经办人刘彬、许安易，给来访的众人讲解硅片厂、晶圆厂的建设情况。

花费了一个多小时，领导们和专家团在厂区内的建设工地，走马观花的看了一遍。

京城大学的齐教授感慨道：“国内投建的几家芯片制造厂，我都参与或实地了解过，没想到你们的厂房建设，竟然全是自研技术，而且指标还这么高！”

许安易笑着回道：“我们在晶圆厂内的布局上，也参考了不少国外的方案。”

“但世界上目前已经投产、最先进的只有65纳米工艺，而我们的目标是45纳米制程甚至更小，而且还是12寸的大晶圆，需求的生产环境差别比较大，没有参照对象只能自己建立新的指标和要求。”

对于他自夸式的回答，不少专家都皱起了眉头。

某大学教授沉声道:“不管你们厂房的建设技术是自研还是引进的，但话还是不要说太满！据我所知，因特尔对于45纳米的研究很早就开始了…”

旁边一位中年教授也插话道：“有干劲是好事，但口号喊得再大也没用，得拿出真材实料来，不要像那个研发‘汉芯’的人一样闹出笑话！”

专家团来之前，看了不少这次调研对象的技术资料。

真理科技宣称成功研发的12寸晶圆技术，就已经够让人吃惊了，更别说比世界、比灯塔国都要先进的45纳米制程了。

曾经获奖无数的“汉芯”专家，造假吹牛都不敢说这么大，超越世界的制程技术是那么容易的？

一旁陪同的绿城市市长蔡元婴，听到这么多专家质疑，心里很是不平。

他站出来笑着说道：“林总，要不咱们直接去实验室，看看你们的设备？毕竟领导和专家们只看过上报的技术资料，还没见到过实物啊。”

赵主任笑呵呵的看了蔡元婴一眼，也说道：“真理科技之前的成就，已经得到了充分验证，我们这次兴师动众的过来，也是为表达部委乃至国家对你们的重视，所以林总方便的话，就优先展示你们在芯片制造领域的重要技术成果吧。”

林畅笑着点点头，“没问题，大家请跟随我去那边的实验楼。”

实验楼一楼。

这里整层都被改造成芯片实验室，已经小批量的在试生产芯片了。

刘彬作为真理半导体的负责人，从晶圆的加工设备开始，一路带着大家观看切割、研磨等各个工序。

然后是光刻、刻蚀、沉积...直到封装测试的整个工艺流程。

穿着防护服的刘彬，指着刚刚完成封装的一批45纳米制程芯片，大声的宣讲着：

“各位领导，各位专家，硅晶的制备设备我们也已经制造完毕，但在实验楼不好部署展示。”

“目前能看到的工艺流程中，包括EdA芯片设计软件，掩膜板的制作，光刻机以及重要的耗材等，这些核心设备全都是我们独自研发，次要设备是在国内相关厂家定制的，整个芯片制造产线可以说是100%夏国制造！”

他的话音刚落，领导和专家团便激动的鼓起了掌！

整个参观过程大家都是静默的，谁也没想到这个面积庞大的实验室里，如此先进的设备竟然都是自研的。

那台名为ZL400的浸没式dUV光刻机，采用了193纳米ArF光源，这可是比荷兰ASmL公司正在研发的xt1900i，更早实现了量产45纳米制程芯片啊。

而最牛x的是，真理科技竟然同时研发出生产5纳米以下芯片的EUV光刻机，虽然目前光源曝光率还比较低，但这可是世界独创！

惊叹过后，专家都在围着真理科技的研究员们，询问相关的技术问题，也有不少人在测试机上查看产出芯片的参数。

而来自某光学研究所的李工，却拉着刘彬走到一旁，询问EUV光刻机中的紫外线是靠什么产生的。

刘彬笑道：“李工，我们林总亲自设计了一款激光放大器，将较弱的激光脉冲提升至一万次，最终输出的平均脉冲功率稳定在25千瓦，这才基本满足了光刻所需的极紫外线，后续我们的目标是40千瓦。”

李工点点头道:“这已经很不容易了，那你们的发射器的光学组件也是自

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