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辰芯微。
钟国栋也专门到了生产车间,穿着防尘服,进了车间看了半天。
虽然他不太懂硬件技术,但也知道这一次的问题有些大。
出了车间,就召开了会议研判。
黄小婷更是愁眉苦脸,像是霜打的茄子一样。
因为二手光刻机,是她牵头去买的,如今接二连三的出问题,还难以解决,成为了束缚辰芯微发展的绳子。
钟国栋是找阿斯麦买的197nm干式光刻机,因为是新设备,目前来说,也没有出啥问题。
“大伙说说,有什么解决办法?”
副总工孔连华先开口道,“目前出问题的,是二手光刻机的光源稳定性问题。这台设备运行时限有些长了,在实际运行中,其光源输出强度波动较大,导致曝光不均匀,严重影响光刻图案的精度和一致性,从而导致良品率大幅下降。”
“我们已经尝试对光源系统进行校准和调整,但效果并不理想。由于没有后续的维修服务,即便是找到问题所在,更换关键部件也可能面临供应链的问题。”
钟国栋轻轻敲击桌面,“这些零部件,就不能找到替代方案吗?”
许许多多进口机器,在华国出了问题,难不成都找进口零件?
有些牛人,甚至自己能手搓一个替代零件,凑合着用。
像是进口农机、进口汽车这一块,非常常见。
孔连华摇了摇头,解释道:“光刻机的零部件精度要求极高,特别是光源系统,一点点微小的误差都可能导致整个系统性能的大幅下降。虽然理论上我们可以尝试寻找替代零件或者进行手工修复,但实际操作起来风险极大,很可能会对设备造成不可逆的损害,甚至影响到整个生产线的运行。”
黄小婷在一旁补充道:“而且,这台二手光刻机我们改良了非接触式曝光系统之后,对光源稳定性的影响更大了。”
“我们不要一味强调问题和困难,解决办法呢,都有没有想法?”钟国栋头疼地道。
张成举手,“我有一个想法。”
“说。”
“目前出问题的部件,是光源激光器,是不是可以拿着这个找华国做光源的公司,看下他们能不能做出合格的替代品呢?”
“哪怕性能和寿命比不上,能用就行。”
钟国栋点点头,“这是一个办法,小婷,你知道华国哪些公司搞光源吗?”
“大竹激光,另外还有光华科技,他们在激光光源领域都有一定的研究和技术积累。”黄小婷补充道,“我们可以先联系这两家公司,看看他们是否有能力为我们提供替代的光源激光器,或者能否帮助我们进行现有激光器的维修和性能优化。”
光靠自己的这些研究人员,还是太不够精通。
钟国栋道,“那行,小婷,你和这两家公司联系下……”
正开着会,助理附耳过来,“钟总,江董过来了。”
“我这就去迎接。”钟国栋刚起来,就听到了江奕辰的声音。
“不用了,我们直接去车间。”江奕辰刚进门,就直接摆手,示意道。
“好。”
钟国栋、黄小婷,和孔连华、张成赶紧起身,跟了过去。
路上的时候,几人详细报告了一下问题症结所在。
江奕辰安静听着,并不发表意见。
换了衣服,过了洁净室,便进入了灯光昏黄的生产线。
因为芯片制造的特殊性,车间的光线都是这种昏黄颜色,让人有些压抑。
江奕辰站在光刻机旁,目光如炬,他缓缓开口:“当前光源系统的具体参数怎么样?包括但不限于输出功率、频率稳定性、脉冲宽度以及光束质量。连华,你能提供最新的检测数据吗?”
孔连华迅速从边上拿出了一份详尽的报告,递给了江奕辰。“这是最近一次全面检测的数据,您看,光源输出功率的波动范围较大,尤其是在高频率运行时,频率稳定性也不尽人意。这让我们空有改良后的曝光系统,也是没法子。”
江奕辰仔细研究着数据,眉头紧锁。
模拟(S级)快速地启动。
不仅如此,一进入车间,江奕辰就把自己的各类增益buff光环应开尽开。
周边的人虽然不多,但都是技术骨干,这会儿一个个都似乎有了主心骨,对这个问题并没有了之前的那般畏惧。
而是坚定的相信,江奕辰一定有办法。
“你们之前提的让大竹激光、光华科技要替代方案,这个我同意。国栋
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