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193nm的干式dUV光刻机对阿斯麦来说,并不是多高大上的技术。
早在上个世纪90年代,他们就整了出来。
随后因为一个林姓的华裔研究出了浸没式技术。
其加入了台鸡电,在让台鸡电快速扩张的同时,也让阿斯麦成为了行业中的领头者。
在泥康这些日企苦苦研究干式光刻机的时候,他们的浸润式光刻技术,让阿斯麦一举成为了领先。
时至今天,阿斯麦已经研制了EUV光刻机,行业领先地位,再难撼动。
但是否意味着阿斯麦永远不会衰落呢?
并不是这样。
技术的突破,甚至是技术的更新,带来技术弯道超车,都可能让一个原本领先的技术公司,再次落后。
江奕辰就坚定地这么认为。
也不断地开展各类延伸性研究。
特别是自己的个人实验室,并不是江奕辰在主要研究光刻技术的时候,他们就闲着。
相反,江奕辰也给了不少的研究课题,让孙阳、罗钰牵头开展。
只要他们研究出来的技术,都进入江奕辰奕辰集团的技术鱼池。
一旦哪个技术获得应用,那么他们这些人也将会有巨大的技术分红。
如今大的技术不说,但江奕辰将一种电致发光材料交给他们研究之后,还真让他们整了新的东西。
不过江奕辰现在没有理会。
新光刻技术正在实验。
张成研究的高分子溶液暂时失败,找的数十个材料,虽然取得了一定效果,但却因为各种原因,没有办法采用。
唯独好一点的,制备纯度极高的溶液难度大不说,成本也高,还容易侵蚀衬底,让光刻的效果消散。
最后江奕辰把重点放在了孔连华的研究上。
孔连华研究的是一种特制的晶体。
在第一阶段研究的过程中,孔连华在江奕辰的提醒下就制备了超过10种的符合折光率条件的晶体。
全部超过超纯水的折光率。
其中最好的一种晶体,可以让光的波长,从193nm缩减到90nm。
这意味着可以轻易地制备14nm的芯片。
因为光的波长是横向尺寸,把光比作弯曲的钻头,弯曲成正弦波样子,那么弯曲一个来回,钻头的长就是波长。
用这个钻头来打孔,就会晃动,这是光波的打在被爆光的面上的精细程度。
如果采用多重曝光、鳍式场效应晶体管FinFEt技术,突破到7nn,甚至5nm估计也不成问题。
只是这种晶体的缺点也较多,特别是高温形变问题是难点中的难点。
光刻,是光在晶圆上进行雕刻,
光不断地冲击,会让晶圆发热。
在晶圆上面再加一个晶体,比增加一个透镜的难度要大得多。
最后选定的,是镓镁晶体。
这种晶体,在特殊的技术处理之后,能够适应较高的温度,高温形变上能够有效改善。
当然,这种也只是改善,并不能完全解决。
“江总,我们的专家们厉害,把这个系统破解了,增加了一道非接触式光刻系统。”孔连华解释道,“就是咱们这么一搞,出问题后要阿斯麦的工程师来修就不可能的事了。”
不仅不能让人来修,还不能让人知道。
江奕辰并没有直接回复,而是看着一片测试晶圆的情况。
“检测结果,28nm工艺。”
就这么一个测试,就达到了28nm工艺的极限。
显而易见,镓镁晶体给193nm的光刻机带来了巨大的质变。
“单片晶圆光刻后,晶体的温度达到了80度。”
“再高一些,这个误差就无法软件纠正了。”
孔连华郁闷地说道。
江奕辰摆手,“增设一个降温系统即可,准备一个类似双工件台的设备,在每次光刻一个晶圆后,镓镁晶体同步撤出散热,换新的晶体上。”
张成在旁边看着抚掌赞叹,“对啊,既然改都改了,咱们改得更合适一些就行了。”
孔连华点头应是,“这倒是,看起来我们可以给这个技术取个名字了。”
“就叫改良型非接触式193nm光刻机。”
江奕辰直接定下了名字。
他可不想随便把这个技术透露出去。
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